光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
隨著現(xiàn)代化生產(chǎn)的發(fā)展及工業(yè)技術(shù)的升級(jí)換代,對(duì)于無(wú)塵清潔生產(chǎn)及其環(huán)境的要求越來(lái)越高,比如無(wú)塵車間要求車間地坪要耐腐蝕、潔凈和耐磨,室內(nèi)空氣含塵量盡量的低,有很多無(wú)塵車間凈化廠房,還要求地面具備防靜電和防1菌抑菌性能。除了工業(yè)生產(chǎn)凈化廠房對(duì)室內(nèi)凈化程度要求外,很多科研、教學(xué)、實(shí)驗(yàn)、醫(yī)院也對(duì)室內(nèi)空氣凈化程度有很高要求。
根據(jù)美國(guó)施行的規(guī)范,可將無(wú)塵車間分成六級(jí)。各自是一級(jí)、十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí):一級(jí)≥百級(jí)≥萬(wàn)級(jí)≥千級(jí)≥十萬(wàn)級(jí)≥上百1萬(wàn)級(jí)。越排前,級(jí)別越高,一級(jí)是級(jí)別1大的。普遍的是百級(jí)到十萬(wàn)級(jí)。一級(jí)的無(wú)塵車間主要用于制造集成電路芯片的電子光學(xué)工業(yè),對(duì)集成電路芯片的精準(zhǔn)規(guī)定為亞μm。十級(jí)的無(wú)塵車間主要用于網(wǎng)絡(luò)帶寬低于2μm的半導(dǎo)體材料工業(yè)。百級(jí)是常見(jiàn)的。因而是關(guān)鍵的無(wú)塵車間,大家經(jīng)常不正確地將百級(jí)凈化室稱之為無(wú)菌車間,以表明“無(wú)菌檢測(cè)”的或“潔凈”的自然環(huán)境規(guī)定,百級(jí)潔凈室可用于藥業(yè)工業(yè)的無(wú)菌檢測(cè)制造加工工藝等,這一凈化室很多應(yīng)用于,植如身體物件的制造,手術(shù),包含移植術(shù),集成器的制造,這些對(duì)細(xì)菌1性1感1染比較敏感的患者的防護(hù)醫(yī)1治,例如像骨1髓移植患者手術(shù)后的防護(hù)醫(yī)1治。千級(jí)的無(wú)塵車間主要用于電子光學(xué)商品的生產(chǎn)制造,還用于檢測(cè),裝配線飛機(jī)場(chǎng)蛇螺儀,裝配線微型軸承等。千級(jí)無(wú)塵車間用于液壓機(jī)械或標(biāo)準(zhǔn)氣壓機(jī)器設(shè)備的裝配線,一些狀況下也用于食品工業(yè)工業(yè),除此之外,千級(jí)無(wú)塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常見(jiàn)。十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于許多的工業(yè)單位,例如電子光學(xué)商品的制造,用于較小的電子器件制造大中型的電子技術(shù),液壓機(jī)或標(biāo)準(zhǔn)氣壓系統(tǒng)軟件的制造,食品工業(yè)的生產(chǎn)制造,醫(yī)1藥工業(yè)也經(jīng)常應(yīng)用這一級(jí)無(wú)塵車間。